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ALICAT 气体质量流量计-低压损型 20W系列技术指标

更新时间:2021-09-10  点击次数:217次 打印
20W系列具有超低压损,满量程压损最低可达360Pa。可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度适用于多种流量测控场合,尤其是要求低压损的应用场合。

美国ALICAT 20W系列低压降质量流量计,采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。

 

20W系列具有超低压损,满量程压损最低可达360Pa。可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度适用于多种流量测控场合,尤其是要求低压损的应用场合。

 

介质要求:非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类:内置了98种气体,请参考背面,一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量程:从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

测量范围:0.01~100%

最大显示流量:128%满量程

显示屏:带按键背光开关,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏

显示方式:同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度:±(0.8%读数 + 0.2%满量程)见上段精度升级部分

累计流量精度:流量精度之外增加±0.5%额外误差

重复性:±(0.2%读数+0.02%满量程)

质量流量温度漂移:0.03%满量程当温度从25℃起每变化1℃

质量流量压力漂移:±(0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程)当压力从标定压力起,每变化1bar

响应时间:优于10 ms

预热时间:< 1 s

标定工况:25 ℃&1 Atm(可现场在测量范围内随意更改)

工作温度: -10 ~ 60 ℃(可选高温/低温选项)

温度精度:± 0.75 ℃

工作湿度:0 ~ 95 %,无冷凝

最大工作压力:0.3 MPa表压,进出口最大允许瞬时压差70 Kpa

最低操作压力:如果不做真空特殊标定,建议在绝压80 KPaA以上使用;其他真空压力建议做特殊标定

压力精度:±0.5%读数(读数>1 Atm),或±0.1PSIA(<1Atm)

数据刷新频率:数字信号40 Hz@ 19200波特率;

模拟信号:1000 Hz

屏幕刷新频率:10 Hz

数字输入/输出信号:RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模拟输入/输出信号:0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA

可选第二路模拟输出:质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度:在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压:7 - 30 VDC(如选4 - 20 mA输出,须为15 - 30 VDC)

供电电流:40 mA,80 mA(4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC)

电气接口:DB9,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率(外漏):选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材质:302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

过程连接:详情参考压损表

安装方式:对位置无要求

防护等级:IP40

认证:ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA (可选)

 

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